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硅料回收新闻

对于非行业内人员来说废硅料包含哪些？硅料这个名字很陌生，边皮料又是什么?

原生型废硅料
原生型废硅料是指由多晶硅从拉制单晶硅棒到制作成电子级裸片或空白片过程中所产生的
报废料，即多晶硅通过拉晶、切片、研磨、抛光等物理方法制成初成品过程中所产生的报废料。
按形状不同，大致可分为以下几种：

碳头料：碳在多晶硅提纯过程中起引晶作用，也就是硅包围在碳的周围结晶生成多晶硅，因

此多晶硅靠近碳的地方黏附碳头，形状为不规则块状。

锅底料：指在拉成单晶硅棒后，残留在石英坩锅底上的硅料。由于锅底的多晶硅料还未完全

拉成单晶硅，所以锅底料应为多晶硅。

而且由于锅底的多晶硅料在拉晶时多晶硅熔融在石英坩锅

上，因此灰色的硅料上会有白色的石英坩锅残余附着在上面。
头尾料：在拉单晶硅棒时拉制无位错单晶的工艺需要会产生头尾尖尖的部分
(形状类似于消好的铅笔)，加工成硅片前必须将此头尾部分切除，这切除下来的部分即为头尾料。由于头尾料
已是单晶硅棒的一部分，因此头尾料一般为单晶硅。但尾料是锅底料的上面部分，与其粘连，所
以有时尾料可能会存在一定的多晶硅。
 
切割型碎片：即在将单晶硅棒切割成硅片过程中所产生的碎片。

研磨型废片：

即在圆片研磨过程中由于表面划坏等原因产生的废片。

一般为圆形，而非碎料，表面呈深灰色，没有光泽。

抛光型废片：圆片在抛光过程中由于表面出现崩口等原因而产生的废片。一般亦为圆形，表

面如镜子般光亮，

但颜色比一般的镜子略黑。

由于抛光产生的表面崩口只有在显微镜下才看得出，

因此用肉眼很难辨别废片与正品片的差别。
成品型废硅片
成品型废硅片是指在空白硅片的基础上通过扩散、外延、氧化、涂层、光刻等化学方法制成

半导体芯片过程中产生的报废品。根据外观颜＊＊案的不同

扩散型废片：将硅片放人石英管中加人硼、磷等扩散杂质加热至

1000℃以上。使杂质原子

均匀地向硅片内部扩散。
外延型废片：

为了让硅片表面平整性特别是电阻率的均匀性能更好满足芯片制作的需求，

让

硅片在外延炉内用化学汽相沉积方法在硅片表面再生长上一层需要的薄层硅。

外延片的衬底不同

于一般的硅片，而是掺了较多量杂质的电阻率较低的所谓重掺片。

氧化型废片：将原料晶圆在氧气或水蒸汽中氧化，使晶圆表面形成一层二氧化硅。氧化片根

据氧化层的厚薄不同会呈现不同颜色。
涂层型废片：

在氧化层的基础上涂一层介质层。

这些片子根据涂层的物质不同会呈现不同颜

色(如涂氮呈金色、涂铝呈银白色等)
 

 

电路型废片：已制有集成电路的废晶圆。如图

10

所示。太阳能行业对电子级废硅料的处理

方法

  

 

 

由于电子级硅料纯度远高于太阳能级的硅料，闪此在太阳能电池使用的硅材料严重紧缺时，

电子级硅废料就被广泛应用于太阳能电池的制作过程。

当然，

并不是所有的废硅料都能被太阳能

行业利用，一些重掺片、扩散层及金属层过多等原因产生的废料就作为垃圾被处理掉。这就需要

繁复的人工分拣，逐片检测，将值得利用的废料作为原料进行回收，根据废料形状不同分为以下

两种处理方法：

废整片的处理方法

将完整的电子级废硅圆片经过表面处理、

划片后直接作为太阳能级硅片来使用。

由于电子级

的硅片都是圆形

(面积大能制作出更多芯片)

，

而太阳能级的硅片是准方形的

(节省电池空间)

，

所以必须要划成一定尺寸后才能使用。

这类硅材料还必须符合四个条件：

①完整的圆片②属于原生

型硅料③硅片的电阻率在

0.5

至

3

欧姆·厘米范围内④硅片厚度一般在

280um

以上。

废碎

(块)

料的处理方法

对符合回收条件的电子级废硅碎料或块料作为原料重新回炉后使用。

回炉前必须经一系列处

理，根据废硅料的两种类型有不同的处理方法。

1)

原生型废硅料的处理：适当清洗、烘干即可。2)

成品型废硅片的处理：

根据加工到不同工艺步骤的废料进行不同处理，

通过一系列化学方

法(与直接使用的成品型废硅整片的处理方法相同)

恢复其原生型硅料的本来面貌，

才能回炉作为

太阳能级硅片的原料。 

废硅料的归类别

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