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关于硅片缺角原因分析

2017-12-14    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

          硅片缺角原因大致可分为以下几点:

1.加工时缺角:晶棒在加工和拉运时,由于人员疏忽,没有按照作业指导规定操作,造成缺角,设备异常,

造成缺角。

2.切割时缺角:晶棒上导向条没有粘接到位,切割中,没有导向条的位置钢线容易打滑,随着工作台下降,

线速加快,钢线和晶棒定位的瞬间,会造成硅片角上缺角。

3.运输中缺角:再切片岗位下棒时,作业员需要用拉钩把硅棒拉倒下棒轨道里,稍不注意拉钩就会碰到硅片,

造成缺角。

4.插片时缺角:插片人员在操作时,插片速度过快,硅片的角会碰到插片工作台上,造成缺角。

5.分选时缺角:人工在倒片盒时,因工作台上有碎硅渣,片子会与碎硅渣产生冲撞力,造成缺角。