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硅片回收 从单晶硅棒开始，结束与清洁硅片制备工艺抛光垫要能够在一个完美的环境中使用。期间，从硅棒到加工贷款，以满足特殊要求的硅经过多工序和清洗步骤。此外还有很多的工艺步骤，几乎整个过程必须在无尘的环境完成。晶圆加工从一个相对较脏的环境开始，最终完成 10 级间隙。
过程摘要的硅片过程涉及许多步骤。
归纳为三个主要类别的所有步骤︰ 固定物理属性，如大小、 形状、 平整度、 或一些材料的性能可以减少不必要的表面损伤;或删除表面灰尘和颗粒。硅片加工的典型工艺表 1.1 所示的主要步骤。加工步骤的顺序是非常重要的因为这些决定可以使硅片产生的破坏和减少污染的晶圆片。

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