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硅片的尺寸

2016-10-8    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

 

                                    硅片的尺寸

硅片分为单晶硅片和多晶硅片,单晶硅片四个角是呈圆弧的形状的

6英寸=152.4mm,8英寸=203.2mm
下面是一般单晶硅片的标准:
6″\x09153mm≤Φ≤158 mm
6.2″\x09159 mm≤Φ≤164 mm
6.5″\x09168 mm≤Φ≤173 mm
8″\x09203 mm≤Φ≤208 mm
另外因为单晶硅片四个角是弯曲的一个弧形所以又有这样的标准:
弦长(mm)就是弧度的长\x09
6 寸\x09 28.24~31.30
\x096.5寸\x0910.93~13.54
\x098 寸\x0920.46~23.18
直径(mm)就是对角的长
\x096 寸\x09150.0±0.5
\x096.5 寸\x09165.0±0.5
\x098 寸\x09200.0±0.5


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