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硅料回收后如何清洗
2019-2-18 来源: 作者:佚名 阅读:次 【打印此页】
硅料回收后如何清洗,硅料上的杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。
清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。将多晶硅硅料置于混合酸液中进行避光浸泡1分钟~10分钟,混合酸液温度为30℃~35℃,后捞取,用纯水冲洗,再经超声冲洗、压缩空气鼓泡后烘干;混合酸液为腐蚀液,配比为硝酸∶氢氟酸∶冰乙酸的溶液体积比为57∶18∶25;硝酸浓度为68%~72%,氢氟酸浓度为38%~41%,冰乙酸浓度为99.8%~99.9%;纯度等级为MOS级或UP级。将多晶硅硅料置于混合酸液中避光浸泡前,可以在氢氟酸液中进行避光预浸泡,也可以先在溶解光阻的溶剂中进行避光浸泡。用本方法清洗的多晶硅硅料,表面光洁,无酸渍、水渍,其优点为清洗效果好,清洗成本低,操作难度低,易于控制清洗质量,提高了清洗收率。想必大家已经了解清楚,不知道对大家有没有帮助。如果还有什么地方不明白,欢迎大家随时来电咨询!
另外厂家在硅料回收原料颗粒重要的是要注意,刺激气味,废旧塑料的有毒有害化工原料,包装必须清楚,无论是生产,还是加工,否则,环境污染严重。